MaskStudio
碎裂化軟體工具(Fracturing)
在此奈米時代,光罩成本大幅提升,如何確保光罩的品質、效能、與產出效率,已成為半導體製造的重要議題。MaskStudio的速度與效能為業界最優,可大幅提升光罩公司的競爭優勢。
MRC與Boolean運算
內建MRC與Boolean運算功能,並同時支援平行處理,提供光罩格式轉換時的檢驗與流程整合便利性。
快速的格式轉換
MaskStudio的平行處理演算法效能極佳,使用者可有效運用大量的電腦與伺服器,來處理大型資料之轉換,並維持幾乎是1:1的線性效能增加,目前已有客戶的案例使用到200個運算點,仍維持線性的性能增加實例。
支援格式
輸入 GDSII Version 5/ 6/ 7 OASIS 1.0 JEOL52 V1.0/ V2.1/ V3.0/ V3.1/ JOB MEBES RETICLE/ MODE5/JOB(*) Hitachi HL800/ HL900/ HL7000/ JOB Toshiba/NuFlare VSB11/ VSB12/ JOB 輸出 GDSII Version 7 OASIS 1.0 JEOL52 V1.0/ V2.1/ V3.0/ V3.1 MEBES RETICLE/ MODE5 Hitachi HL800/ HL900/ HL7000 Toshiba/NuFlare VSB11/ VSB12 (*) MEBES不得轉換成MEBES以外之格式。
多平台對應(支援不同平台之平行處理)
Sun SPARC Solaris 9, 10 (64-bit)RedHat Enterprise Linux WS/ES/AS 3, 4
對應LAVIS
不同於其他的廠商,TOOL的MaskStudio與其旗艦產品LAVIS完整結合,提供MaskStudio使用者一強大的View圖功能,快速有效的對其格式轉換作比對驗證。
http://www.tool.co.jp/ProductJp/MaskStudio