MaskSoft AMAS
Advanced Mask Automation SystemMLG (Mask Layout Generator)
光罩Layout佈局自動化軟體，有效利用光罩之有效面積，自動擺置IC、test chips、test lines、frame cells等，除能避免人為之疏失外，並可將光罩與晶圓作最大的運用。並進一步提供wafermap功能，使非光罩業者亦能利用本軟體對其經援需求作計算，了解每片晶圓之晶片最大產出量，增加產出效能並降低單位成本。
本軟體支援MPW, MLM等先進製程；已建立相關光罩流程之使用者，可利用本產品之PRC (Placement Rule Checker) ，作相關之QA品保確認，以避免昂貫之光罩浪費。
MFG (Mask Frame Generator)
光罩frame自動產生軟體，可自動產生alignment marks、scribe lines、chip guard rings (seal rings)、barcode、mask ID、frame cells、protection blocks等frame所需之GDS Layout。使用者可結合MLG，作適當之frame擺置，並自動產生光罩所需之GDS。
MSB (Mask Script Builder)
Job file script自動產生器，方便使用者於不同之機台快速轉換，目前已支援MEBES、Toshiba VSB/MDS、KT D-DB inspection PP。
MSB以template方式處理各式scripts，使用者可進一步的自行定義，運用於不同方向。
BOE (Boolean Operation Expression)
布林運算式產生器，快速拆解不同來源之布林運算式給相關軟體進一步處理，避免人為拆解之疏失，目前已支援CATS cinc generation、Calibre MDP/DRC script generation。
DPT- GDS Tools
GDS II資料處理工具。